Anonim
ASML EUV backlog is 21 systems

Kupci koriste EUV za 7nm logiku i 'mid-10nm' DRAM-a, kaže ASML.

Tvrtka je započela s isporukom svog prvog NXE: 3400B sustava u Q1, a isporuku je dovršila početkom Q2.

ASML kaže kako se zalaže za isporuku boljih od 125 wph s boljim od 90% produženog vremena.

n

U Q2 se očekuju tri isporuke NXE: 3400B. Koriste 13, 5 nm EUV svjetla, stvorena izvorima plazme na bazi kositra.

Sustavi sadrže sve reflektivne 4-kratne redukcijske leće tvrtke Carl Zeiss SMT s maksimalnim poljem ekspozicije od 26 mm do 33 mm.

NXE: 3400B opremljen je projekcijskom optikom s NA 0, 33 i novim iluminatorom s radnim rasponom sigma 0, 06 - 1 za održavanje visoke produktivnosti uz istovremeno smanjenje niske k1 i razlučivosti od 13 nm.

In-situ mjerenje i korekcije po rezidbi optike i stupnjeva omogućuju maksimalan slikovni učinak prekrivanja i CDU za svaku rezanu ploču prilikom snimanja pri niskom k1.

Vrijednost 21 zaostatka EUV sustava kod tvrtke sada je 2, 3 milijarde eura.

Instalirana baza EUV sustava sada broji do 14 strojeva.